液體氣體混合配比器 用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量；質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫(xiě)為MFC）用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。 它們在半導體微電子工業(yè)、特種材料研制、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著(zhù)重要的應用。其典型的應用場(chǎng)合包括； 電子工藝設備，如擴散、氧化、外延、CVD、等

氣體溫度控制儀 氣體環(huán)境模擬主要用于環(huán)境氣體模擬配比 燃料電池氣體加濕 材料表面改性 濕度氣敏材料電學(xué)信號測試

氣體流量計選型主要用于環(huán)境氣體模擬配比燃料電池氣體加濕材料表面改性濕度氣敏材料電學(xué)信號測試系統可耐0.6MPa 設備通過(guò)飽和蒸汽和干空氣按比例混合氣體輸出出氣口無(wú)冷凝水可為氣體分析儀燃料電池氣敏測試腔供氣