<object id="g02ac"></object>
<sup id="g02ac"><wbr id="g02ac"></wbr></sup>
<sup id="g02ac"></sup>
<sup id="g02ac"><wbr id="g02ac"></wbr></sup>

產(chǎn)品中心

Product Center

PECVD射頻模塊

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

PECVD射頻模塊通過(guò)反應氣態(tài)放電,有效地利用了非平衡等離子體的反應特征,從根本上改變了反應體系的能量供給方式低溫熱等離子體化學(xué)氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點(diǎn),工藝流程簡(jiǎn)單,與傳統CVD系統比較,生長(cháng)溫度更低,管輝光均勻等效,薄膜均勻沉積。

產(chǎn)品型號:KT-PE500Z
更新時(shí)間:2023-12-15
廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
訪(fǎng)問(wèn)量:1346

article

相關(guān)文章
品牌其他品牌電動(dòng)機功率1000kW
外形尺寸0mm重量16kg
應用領(lǐng)域電子

     KT-PE500ZPECVD射頻模塊是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體,輝光放電等離子體中:電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍,使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應,從而實(shí)現薄膜材料生長(cháng)的一種新的制備技術(shù)。通過(guò)反應氣態(tài)放電,有效地利用了非平衡等離子體的反應特征,從根本上改變了反應體系的能量供給方式低溫熱等離子體化學(xué)氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點(diǎn),工藝流程簡(jiǎn)單,與傳統CVD系統比較,生長(cháng)溫度更低,管輝光均勻等效,薄膜均勻沉積。

PECVD射頻模塊產(chǎn)品參數:

型號

KT-PE150S

KT-PE500Z

信號頻率

13.56MHz±0.005%


功率輸出范圍

0-150W

0-500W

功率穩定度

≤5W


大反射功率

40W


射頻輸出接口

7/16,female  50 Ω


功率穩定度

≤5W


匹配方式

手動(dòng)調節匹配

500W自動(dòng)匹配

耦合方式

電感式耦合


輝光壓力

≤30Pa


供電電壓

50/60Hz 220v±10%


整機效率

≥70%


冷卻方式

強制風(fēng)冷


支持爐管直徑

φ25-φ80

φ25-φ150

感應區

210mm


整機重量

48KG


整機尺寸:H x W x D(mm)

600 x 600x 1100


在線(xiàn)留言

留言框

  • 產(chǎn)品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯(lián)系電話(huà):

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細地址:

  • 補充說(shuō)明:

  • 驗證碼:

    請輸入計算結果(填寫(xiě)阿拉伯數字),如:三加四=7
中文字幕人妻无码乱精品偷偷,电影在线观看,255是多少码的鞋子男,日本巜侵犯人妻人伦
楚雄市| 尚义县| 聂拉木县| 出国| 太谷县| 维西| 集安市| 绥芬河市| 揭西县| 合作市| 胶州市| 鄂托克旗| 新源县| 孝昌县| 财经| 莒南县| 山丹县| 大城县| 海阳市| 新昌县| 河池市| 革吉县| 府谷县| 高州市| 张掖市| 犍为县| 保康县| 建昌县| 报价| 利津县| 平山县| 龙山县| 洛宁县| 洛隆县| 平舆县| 秦皇岛市| 成武县| 波密县| 长治市| 淮北市| 祥云县| http://www.xz919.com http://www.11blm.com http://www.kz668.com http://www.749o.com http://www.87ting.com http://www.cbl788.com