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小型蒸鍍儀特別適合蒸鍍一些輕金屬，如、Al、Mg、和Li等；同時(shí)也可對樣品進(jìn)行鍍碳處理，大可處理的樣品直徑為50mm。
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小型蒸鍍儀特別適合蒸鍍一些輕金屬，如、Al、Mg、和Li等；同時(shí)也可對樣品進(jìn)行鍍碳處理，大可處理的樣品直徑為50mm。
KT-Z1650PVD是一款小型臺式濺射功率可控磁控濺射儀，儀器雖小功能齊全，配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉，樣品高度調節，及電動(dòng)擋板功能。通過(guò)定時(shí)調節預濺射功率及薄膜沉積功率，可對大部分金屬進(jìn)行均勻物理沉積，真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染，樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜。
小型蒸鍍儀
| 安裝條件 | 本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：不需要 2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：設備腔室內需充注氬氣（純度99.99%以上）清洗，需自備氬氣氣瓶 4、工作臺：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上 5、通風(fēng)裝置：需要 | ||
主要特點(diǎn) | 1、配有直連式雙旋機械泵（裝有油污過(guò)濾器和防回油裝置），可使真空腔體真空度達到10-2torr。 2、配有KF25波紋管和卡箍。 3、可進(jìn)行鍍碳處理。 | ||
技術(shù)參數 | 1、輸入電壓：AC208V-240V 50/60Hz 2、功率：<2000W 3、真空腔體：熔融玻璃管 4、載物臺：50mm 5、大蒸鍍區域：45mm 6、鎢絲舟：3個(gè) 7、真空度：10-2torr（雙旋機械泵） | ||
產(chǎn)品規格 | |||
標準配件 | 1 | 鎢絲舟 | 3個(gè) |
2 | 碳纖維 | 1根 | |
注意事項 | 1、對于蒸鍍對氧較敏感的材料，建議使用渦旋分子泵。 2、為了達到較高的無(wú)氧環(huán)境，至少要用高純惰性氣體對真空腔體清洗3次。 | ||
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