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產(chǎn)品中心

Product Center

小型蒸鍍儀

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

小型蒸鍍儀KT-Z1650CVD是一款小型臺式加熱功率可控蒸發(fā)鍍膜儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉,樣品高度調節,及電動(dòng)擋板功能。通過(guò)定時(shí)調節預熱功率及蒸發(fā)功率,可對大部分金屬進(jìn)行均勻蒸發(fā)沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜和有機物薄膜。

產(chǎn)品型號:KT-Z1650CVD
更新時(shí)間:2024-04-30
廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
訪(fǎng)問(wèn)量:1576
品牌鄭科探濺射氣體根據需求氣體
樣品臺尺寸φ50mm控制方式觸摸屏智能控制
樣品倉尺寸50mm靶材尺寸50mm
靶材材質(zhì)金 鉑 銅 銀價(jià)格區間1-5萬(wàn)
產(chǎn)地類(lèi)別國產(chǎn)應用領(lǐng)域電子

小型蒸鍍儀KT-Z1650CVD是一款小型臺式加熱功率可控蒸發(fā)鍍膜儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓電流反饋,樣品臺旋轉,樣品高度調節,及電動(dòng)擋板功能。通過(guò)定時(shí)調節預熱功率及蒸發(fā)功率,可對大部分金屬進(jìn)行均勻蒸發(fā)沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜和有機物薄膜。

小型蒸鍍儀

小型蒸鍍儀技術(shù)資料:

控制方式

7寸人機界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制

加熱方式

數字式功率調整器

鍍膜功能

0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

最大功率

≤1200W

最大輸出電壓電流

電壓≤12V  電流≤120A

真空度

機械泵 ≤5Pa(5分鐘)   分子泵≤10^-3Pa

擋板類(lèi)型

電控

真空腔室

石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm

樣品臺

可旋轉φ62  (最大可安裝φ50基底)

樣品臺轉速

8轉/分鐘

樣品蒸發(fā)源調節距離

70-140mm

蒸發(fā)溫度調節

≤1800℃

支持蒸發(fā)坩堝類(lèi)型

鎢絲藍  帶坩堝鎢絲藍  鎢舟  碳繩  

預留真空接口

KF25抽氣口  KF16真空計接口  KF16放氣口  6mm卡套進(jìn)氣口

可選配擴展

機械真空泵(可抽真空 5分鐘<5Pa)  

數顯真空計(測量范圍大氣壓到0.1Pa)

分子泵機組(可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa)






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